Physikalische Chemie / Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Bibliographische Angaben
- Autor: Ernst-Christian Richter
- 2022, 2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000), 88 Seiten, 72 Schwarz-Weiß-Abbildungen, Maße: 14,5 x 20,5 cm, Kartoniert (TB), Deutsch
- Verlag: Utz Verlag
- ISBN-10: 3831686351
- ISBN-13: 9783831686353
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