Étude fondamentale des mécanismes physico-chimiques de gravure plasma
Comportements prévisionnels de la gravure des éléments de la colonne IV et des composés III-V par les halogènes
(Sprache: Französisch)
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Étude fondamentale des mécanismes physico-chimiques de gravure plasma “
Bibliographische Angaben
- Autor: Thành-Long Phan
- 2021, 236 Seiten, Maße: 22 cm, Kartoniert (TB), Französisch
- Verlag: Editions universitaires europeennes
- ISBN-10: 6202550899
- ISBN-13: 9786202550895
Sprache:
Französisch
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