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Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken

Dissertationsschrift
 
 
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In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den...
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Kommentar zu "Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken"
 
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