Herstellung freistehender Galliumnitrid-Schichten, Peter Brückner

Herstellung freistehender Galliumnitrid-Schichten

Peter Brückner

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Diese Arbeit befasst sich mit der Herstellung von freistehenden Galliumnitrid-Schichten mit Hilfe der Hydridgasphasenepitaxie (HVPE). Für die Steigerung der Qualität, Effizienz und Ausbeute bei der Herstellung moderner elektronischer und...

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