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Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting

(Sprache: Englisch)
 
 
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This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials. This fabrication technology has been...
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Kommentar zu "Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting"
 
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