CVD of Compound Semiconductors (PDF)
Precursor Synthesis, Development and Applications
(Sprache: Englisch)
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von...
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Produktinformationen zu „CVD of Compound Semiconductors (PDF)“
Metallorganische Precursormoleküle sind zur Herstellung von dünnen, hochreinen Schichten für Elektronikbauelemente unentbehrlich. Dieses Handbuch behandelt die Herstellung und Struktur der Precursor und ihre Anwendung in CVD-Prozessen zur Herstellung von Verbindungshalbleitern.
Unter anderem werden behandelt:
* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik
Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
Unter anderem werden behandelt:
* Strategien und Techniken zur Herstellung von Verbindungshalbleitern
* Metallorganische Precursormoleküle für III-V MOVPE
* Metallorganische Precursormoleküle für II-VI MOVPE
* Einkomponentenvorstufen
* CBE-Technik
* ALE-Technik
Eine Reihe von Glossarien und ein ausführliches Literaturverzeichnis runden dieses umfassende Werk ab. Dieses Buch ist für Chemiker, Physiker, Ingenieure und Materialwissenschaftler, die sich mit der Materialentwicklung dünner Schichten befassen, zu empfehlen.
Inhaltsverzeichnis zu „CVD of Compound Semiconductors (PDF)“
Basic Electronics Introduction to Vapor-Phase Epitaxy MOCVD ALE CBE Precursor Chemistry General Classes Synthesis/Purification Effects of Trace Impurities on Layer Properties Deposition of III-V Semiconductors MOCVD ALE CBE Deposition of II-VI Semiconductors MOCVD ALE Future Prospects
Bibliographische Angaben
- Autoren: Anthony C. Jones , Paul O'Brien
- 2008, 1. Auflage, 338 Seiten, Englisch
- Verlag: Wiley-VCH GmbH
- ISBN-10: 3527614621
- ISBN-13: 9783527614622
- Erscheinungsdatum: 20.11.2008
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 18 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
Kopierschutz
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