Handbook of Semiconductor Interconnection Technology (PDF)
(Sprache: Englisch)
This book describes the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy...
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Produktinformationen zu „Handbook of Semiconductor Interconnection Technology (PDF)“
This book describes the equipment used in manufacturing for deposition and etching, such as electrochemical deposition equipment used for plating copper. It emphasizes the measurement of mechanical and thermal properties as well as the use of EELS, energy filtering TEM, and atomic force microscopy. Expert contributors explore recently reported developments in thin film liners and barriers, choices for low-dielectric insulators, major issues in processing, and deposition and etching of metallic films. The book also examines the reliability of thin metallic and insulating films and features expanded discussions on copper reliability. Publications and patents are extensively cited throughout the book.
Autoren-Porträt von Geraldine Cogin Shwartz
Geraldine C. Schwartz, Geraldine Cogin Shwartz, Kris V. Srikrishnan
Bibliographische Angaben
- Autor: Geraldine Cogin Shwartz
- 2006, 2. Auflage, 536 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Geraldine C. Schwartz, Kris V. Srikrishnan
- Verlag: Taylor & Francis
- ISBN-10: 1420017659
- ISBN-13: 9781420017656
- Erscheinungsdatum: 22.02.2006
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 11 MB
- Mit Kopierschutz
- Vorlesefunktion
Sprache:
Englisch
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