Material Science and MEMS Production (PDF)
(Sprache: Englisch)
Selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China
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Produktinformationen zu „Material Science and MEMS Production (PDF)“
Selected, peer reviewed papers from the 2014 Conference on MEMS and Nanotechnology (MEMS-NANO 2014), January 23-24, 2014, Shenzhen, China
Bibliographische Angaben
- 2014, 128 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Chang Hui Liu
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038264288
- ISBN-13: 9783038264286
- Erscheinungsdatum: 27.02.2014
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