MEMS in der Mikrosystemtechnik (PDF)
Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und...
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Produktinformationen zu „MEMS in der Mikrosystemtechnik (PDF)“
Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für MEMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.
Autoren-Porträt von Markus Glück
Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.
Bibliographische Angaben
- Autor: Markus Glück
- 2015, 2005, 212 Seiten, Deutsch
- Verlag: Vieweg+Teubner Verlag
- ISBN-10: 3663107787
- ISBN-13: 9783663107781
- Erscheinungsdatum: 27.02.2015
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 21 MB
- Mit Kopierschutz
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