Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs (PDF)
Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen...
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Produktinformationen zu „Oberflächenanalytische Charakterisierung von metallischen Verunreinigungen und Oxiden auf GaAs (PDF)“
Inhalt dieses Buches ist die detaillierte Charakterisierung der Oberfläche von GaAs-Halbleitern hinsichtlich oberflächennaher Verunreinigungen und passivierender Oxidschichten. Der Autor entwickelt ein Verfahren zum quantitativen Nachweis von metallischen Spurenelementen mit der Flugzeit-Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS), das es möglich macht, Oberflächenbelegungen auf GaAs mit Konzentrationen kleiner 109 Atome/cm2 quantitativ nachzuweisen. Ein Vergleich passivierender Oxide hinsichtlich ihrer Komponenten, Schichtstruktur und Dicke liefert die Grundlagen für gezielte Änderungen des Herstellungsprozesses.
Bibliographische Angaben
- 2013, 1997, 138 Seiten, Deutsch
- Verlag: Deutscher Universitätsvlg
- ISBN-10: 3322953653
- ISBN-13: 9783322953650
- Erscheinungsdatum: 09.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 10 MB
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