Rapid Thermal Processing and beyond: Applications in Semiconductor Processing (PDF)
(Sprache: Englisch)
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Produktdetails
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Special topic volume with invited papers only
Bibliographische Angaben
- 2008, 448 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Wielfried Lerch, Jürgen Niess
- Verlag: Trans Tech Publications
- ISBN-10: 3038131733
- ISBN-13: 9783038131731
- Erscheinungsdatum: 24.03.2008
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
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Sprache:
Englisch
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