Lithography (ePub)
(Sprache: Englisch)
Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This...
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Lithography (ePub)“
Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and processes, primarily used in industrial manufacturing of microprocessors and other electronic components.
Autoren-Porträt
Stefan Landis works at CEA-LETI-Minatec in Grenoble, France. He also lectures on next generation lithography in numerous engineering schools in France and in CEI-Europe Advanced Technology Education.
Bibliographische Angaben
- 2013, 1. Auflage, 320 Seiten, Englisch
- Herausgegeben: Stefan Landis
- Verlag: John Wiley & Sons
- ISBN-10: 1118621182
- ISBN-13: 9781118621189
- Erscheinungsdatum: 04.03.2013
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eBook Informationen
- Dateiformat: ePub
- Größe: 6.72 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
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