Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices (PDF)
(Sprache: Englisch)
A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale
* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
* Written at both introductory and advanced...
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* Written at both introductory and advanced...
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Produktdetails
Produktinformationen zu „Measurement Technology for Micro-Nanometer Devices (PDF)“
A fully comprehensive examination of state-of-the-art technologies for measurement at the small scale
* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
* Highlights the advanced research work from industry and academia in micro-nano devices test technology
* Written at both introductory and advanced levels, provides the fundamentals and theories
* Focuses on the measurement techniques for characterizing MEMS/NEMS devices
Autoren-Porträt von Wendong Zhang, Xiujian Chou, Tielin Shi, Zongmin Ma, Haifei Bao, Jingdong Chen, Liguo Chen, Dachao Li, Chenyang Xue
WENDONG ZHANG, North University of China, ChinaXIUJIAN CHOU, North University of China, China
TIELIN SHI, Huazhong University of Science and Technology, China
ZONGMIN MA, North University of China, China
HAIFEI BAO, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, China
JING CHEN, Peking University, China
LIGUO CHEN, Soochow University, China
DACHAO LI, Tianjin University, China
CHENYANG XUE, Key Laboratory of Instrument Science and Dynamic Measurement, Ministry of Education, China
Bibliographische Angaben
- Autoren: Wendong Zhang , Xiujian Chou , Tielin Shi , Zongmin Ma , Haifei Bao , Jingdong Chen , Liguo Chen , Dachao Li , Chenyang Xue
- 2016, 1. Auflage, 344 Seiten, Englisch
- Verlag: John Wiley & Sons
- ISBN-10: 1118717988
- ISBN-13: 9781118717981
- Erscheinungsdatum: 18.10.2016
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eBook Informationen
- Dateiformat: PDF
- Größe: 23 MB
- Mit Kopierschutz
Sprache:
Englisch
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