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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication / Springer Series in Materials Science Bd.24 (PDF)

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Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication treats the transition-metal impurities generated during the fabrication of silicon samples and devices. The different mechanisms responsible for contamination are discussed, and a survey is given of their...
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Kommentar zu "Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication / Springer Series in Materials Science Bd.24"
 
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