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Wegbereiter der digitalen Zeit (PDF)

Eine Geschichte der ZEISS Lithographieoptik
 
 
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Mitte der 1960er Jahre entwickelte ein kleines Team bei ZEISS Oberkochen die ersten Objektive für die Belichtung integrierter Schaltkreise, die sogenannte Lithographieoptik.Schon damals gelang es, die Grenzen des Machbaren auszuloten und neu zu definieren....
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