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Interfacial Compatibility in Microelectronics

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Tomi Laurila, Vesa Vuorinen, Mervi Paulasto-Kröckel, Markus Turunen, Toni T. Mattila, Jorma Kivilahti

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Interfacial Compatibility in Microelectronics / Microsystems

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Tomi Laurila, Vesa Vuorinen, Mervi Paulasto-Kröckel, Markus Turunen, Toni T. Mattila, Jorma Kivilahti

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Interfacial Compatibility in Microelectronics

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Tomi Laurila, Vesa Vuorinen, Mervi Palausto-Kröckel

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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

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